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光刻工廠試驗成功,顛覆性的技術再

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2019年,1月15日。

  唐都市半導體材料産業園。

  唐都市這兩年來,已經開發了諸多的産業園。

  半導體産業園,玄武電池産業園等等,這些産業園的出現都是和銀河科技有著極大的關係。

  可以說如果沒有銀河科技,就不會有這些産業園的出現。

  並且,這些産業園也是真的有技術,有投資,有産業,而不是其他城市,蓋幾座樓,修幾條路,就對外說這是産業園。

  這個産業園區平時很低調,低調到很多人都不知道這個産業園裡面,有著一個超級大國重器。

  這個超級大國重器就是光刻工廠。

  在光刻工廠技術被驗證具備可實現性的時候,上面就在最短的時間,給銀河科技撥了一塊500畝的地,來蓋光刻工廠。

  這塊工業用地,完全是免費的。

  不僅如此,還給銀河科技撥了十個億的建設資金,作為獎勵。

  並且,還聯絡了官方建設團隊,把光刻工廠的建設當成了政治任務傳了下去。

  如此一來,接下來的事情就很簡單了。

  銀河科技只需要給出需求和技術,以及出錢,剩下的全交給官方就行了。

  官方出手,速度自然是不同凡響的。

  全方位的保障,讓建設速度就像是按下了加速鍵一樣,所以,這麼大的一個超級高科技工廠,就在短短的時間內完成了建設,並且進入了試投産。

  是的,今天就是光刻工廠要進行試投産的日子。

  一大早,整個産業園就已經被穿著西服的精壯青年給安保了起來。

  唐都市的領導,秦省的領導,以及來自京城的領導。

  還有一支來自總檯的記者團隊,悄然來到了産業園。

  光刻工廠控制中心。

  能夠出現在這裡的人並不多。

  唐都市大總管吳青松、秦省二總管段證、秦省科技廳總管、京城工信部副總管以及科技部高新司司長等人。

  光刻工廠的負責人,則是王東來專門挖來的高階專家梁松。

  在原時空,中心正是有了梁松的加入,才在300天內就攻克了14奈米工藝技術的難關,並將中心國際的工藝良品率提升到95%。

  這個能力,不可謂不強大。

  但就是這麼一個頂尖人材,居然在後面,因為企業內部爭權奪利,被趕了出去。

  這簡直就像是一個黑色幽默。

  不過,這一時空,王東來就沒有給中心國際這個機會了。

  在梁松剛脫離競業限制期之後,就立即親自上門,把此人挖了回來。

  而打動這樣的頂尖人才,只有金錢是遠遠不夠的。

  但王東來只是用了短短三句話,就打動了梁松,讓他堅定內心,選擇加入銀河科技半導體。

  現在,站在指揮中心的梁松,神情之中藏著說不出的激動和亢奮。

  如果今天的光刻工廠試投産完成的話,所代表的意義就太重大了。

  控制中心的燈光明亮無比,巨大的環形螢幕被分割成二十多個視窗,最中間的大螢幕上有這一個極為醒目的倒計時。

  距離啟動還有三十分鐘!

  劉總管站在螢幕前面,手指輕輕地敲在了檯面,發出輕微的咚咚聲。

  “梁博士,昨晚最後一次聯調,雙工作平臺同步誤差控制在多少?”

  能夠出現在這裡,劉總管自然是懂一點技術的。

  真要是一點都不懂的話,下去視察工作,被人騙了都不知道。

  梁孟松作為負責人,下意識地看了一眼王東來,才出聲說道:“報告領導,同步誤差≤2nm,達到設計指標!”

  聲音帶著一絲沙啞,若是細看的話,就能看到梁松的眼球上的紅色血絲。

  這大半年來,梁松完全是吃住在了這裡。

  如果說別人是996上班的話,那麼梁松就是007了。

  在光刻工廠上,他投入的精力是最大的。

  不知道熬了多少個通宵,加了多少班。

  要不是王東來專門給梁松配了一支醫療團隊,來保證他的身體健康,恐怕早就熬垮了。

  可就算是這樣,他臉上的疲憊之色依然極為明顯。

  二總管拍了拍梁松的肩膀,鼓勵著說道:“省上一直都很關注這裡,到時候會為你們請功的,你們是全省半導體産業的功臣。”

  吳青山也跟著表態說道:“梁博士,不要緊張,相信王院士的實力,也要相信你們的能力。”

  梁松點了點頭,深吸一口氣,強行壓下心裡的激動。

  而王東來在一旁看著,神情之中透露出一股強大的自信。

  光刻工廠的技術路線,如果按照原時空發展,恐怕幾十年內都不可能會實現。

  但是,在這個時空,有了他的出手,情況就不同了。

  光刻工廠的核心技術,其實說穿了,就是靠著媧在控制。

  也就是說,光刻工廠是以現在的技術水平根本無法復現的。

  只要王東來願意,隨時都可以撤走媧的控制,從而讓光刻工廠失敗。

  不僅僅是光刻工廠,就連玄武電池也是類似的手段。

  狡兔死,走狗烹,飛鳥盡,良弓藏。

  這句話,王東來還是知道的。

  時間很快過去,就來到了九點鐘。

  控制中心頓時響起了清晰的指令聲音:“各單位注意,光刻工序啟動倒計時開始。”

  “十!”

  “九!”

  “八!”

  “……”

  所有人都下意識地屏住唿吸,目光死死地盯著面前的螢幕。

  “鐳射光源準備!”

  “投影物鏡聚焦完成!”

  “曝光開始!”

  隨著一個個命令下達,整個工廠都陷入了一種極為嚴肅而又認真的氛圍之中。

  光刻技術作為高科技中的高科技,技術含量是極高的。

  所以,也就代表著能夠出現在這裡的工人,文化水平都不可能太低。

  最低最低也得是個重本才行。

  像是碩士,博士更是一大片。

  尤其這可是全球唯一的光刻工廠技術,具備全球唯一性,更是不知道吸引力多少學者專家的目光。

  不少人連工資都不想要,甚至還願意倒貼錢進來,為的就是能夠近距離接觸這個技術。

    這在學術界,可是具備極大的學術價值。

  所以,外人都能夠想明白的事情,在這裡工作的眾多員工也很清楚。

  此刻毫無疑問就是決定他們命運的關鍵時刻。

  只要光刻工廠成功了,那麼他們就能伴隨著這個成功,在事業上取得新的成就。

  可要是失敗,一切休提!

  從指揮中心的螢幕上,可以看到每個流程的畫面。

  這裡畢竟是光刻工廠,而不是晶片生産流程,不會從一堆沙子變成晶片開始。

  就只見到機械臂把一片12英寸的矽片,緩緩送到固定位置,在這個矽片上所塗抹的光刻膠,正是銀河科技自研出來的産品。

  包括EDA設計軟體,再到掩膜臺,這些核心軟體以及裝置都是銀河科技自主研發,突破西方技術完成的。

  眾人看著螢幕裡的矽片,就像是在看稀世珍寶一樣,充滿了期待。

  當晶圓精準對接至雙工作臺的瞬間,螢幕上的對位誤差數字立刻就跳出了一個精準數字。

  0.05μm!

  這個數字是什麼意思呢,相當於頭髮絲直徑的千分之一!

  很快,光斑在晶圓表面上開始移動,如同用奈米級的刻刀在繪製電路圖案。

  小小的一枚晶片,看上去可能還沒有小拇指指甲大,但是放到高精顯微鏡下,就能看到密密麻麻的電路圖案。

  只有看到這個場景,才會知道晶片上所存在的技術是何等強大。

  裝置執行發出的低鳴聲,在安靜無比的指揮大廳裡面變得刺耳起來。

  只不過,在場的眾人都沒有嫌棄這個聲音,甚至於連唿吸都不敢大聲,害怕會有影響。

  第一片被曝光完成的晶圓被送到顯影機,光刻膠經顯影液處理後,電路圖案逐漸顯影。

  當晶圓從裝置中送出時,測試主管快步上前,用機械臂將其轉移至電子顯微鏡下。

  螢幕上,28nm的電晶體陣列整齊排列,線條邊緣光滑如鏡,沒有一絲毛刺。

  “線寬均勻度98.7%!”測試主管的聲音帶著顫抖,“符合設計標準!”

  控制中心裡響起第一陣壓抑的掌聲,隨即又迅速安靜起來。

  因為真正的“大考”還在後面,接下來的蝕刻、離子注入、金屬沉積……還有100多道工序,任何一步失誤都會讓前面的努力功虧一簣。

  時間一分一秒過去,晶圓在不同車間流轉,控制中心的螢幕上實時更新著每道工序的引數:蝕刻深度誤差≤2%,離子摻雜濃度均勻性≥99%,金屬佈線良率95%……

  資料曲線像一條繃緊的弦,時高時低,卻始終在合格線以上徘徊。

  因為整個流程不是一兩個小時就能完成的,所以領導們是專門抽出了一天的時間,留在這裡,要親眼看到光刻工廠的正式投産的情況。

  如果出現問題,就要立即找出問題,並解決。

  如果成功的話,那就立刻彙報上去,這將會成為又一個領先全球的技術,極大地增強我們的話語權和競爭力。

  到了中午的時候,是專門送來的盒飯,而不是專門去外面吃。

  就連休息,也是臨時徵用了工廠的員工休息區。

  “下午的化學機械拋光(CMP)是關鍵,表面平整度要控制在0.5nm以內。”

  “別忘了檢測金屬互聯層的接觸電阻,這直接影響晶片效能。”

  梁松在給下面的流程組長一邊講著技術核心要點,一邊回顧著中午的表現,進行復盤。

  這個時候,王東來走了過來。

  當王東來出現的時候,在場的眾人都站了起來。

  這倒並不是因為王東來老闆的身份,而是他們對於王東來所掌握的技術的欽佩。

  光刻工廠的技術核心,完全就是王東來一手完成突破的。

  到了現在為止,還有很多技術是他們知其然,不知其所以然的。

  看似他們是光刻工廠的技術管理人員,實際上就和按開關的猴子沒有多大區別。

  說的誇張一點,如果王東來願意寫出一個詳細至極的操作手冊,那麼他們這些人都可以離職了。

  隨便挑一些記性好,服從性好的員工,背熟操作手冊,就按照上面的規定去做,也不見得會比他們做的差。

  “老闆!”

  眾人齊聲喊道,語氣之中有崇拜,有敬畏,還有一絲羨慕。

  “好了,大家都坐。”

  “今天對於集團,對於你們來說,都是很重要的一天。”

  “是騾子是馬,拉出來熘熘,光刻工廠前前後後也投入了好幾百個億,成功了,原地翻倍。”

  “在我這裡,沒有失敗!”

  “早上大家的表現還行,還有很大的進步空間,考慮到這是第一次,我能夠理解。”

  “下午的時候,你們放平心態,不要考慮太多,就按照平時做的那樣去做。”

  “技術是不會騙人的,機器是穩定的,所以成功就是成功。”

  “給你們說一個訊息,所有員工,這個月多發一個月工資作為辛苦費,和專案成功獎勵不沖突。”

  王東來當老闆,自然是懂得該如何激勵員工做事。

  畫大餅,一時有用,信譽破産之後,只能起到反效果。

  最有效的就是發錢,咔咔發錢就行。

  就算是對錢不怎麼看重的人,也不會拒絕老闆發錢,做起事來,也會更加上心。

  果不其然,在王東來宣佈了這個訊息之後,眾人的神情立即就變得激動興奮起來。

  激勵完眾人之後,王東來便離開,眾人也都很快回到了各自工作崗位上。

  下午三點,晶圓進入最後一道工序,晶圓測試。

  當探針卡接觸到晶片Pad點時,控制中心的空氣彷彿凝固了。

  螢幕上跳出第一組測試資料:邏輯功能測試:透過

  漏電率:0.01μA/mm

  最大工作頻率:3.2GHz

  良率:96.7%

  “良品率96.7%!”

  看到這個測試資料,測試工程師立即一臉激動地站了起來,聲音都因為太過激動而有些破音了。

  這一刻,控制中心的安靜被瞬間打破。

  先是一聲壓抑不住的歡唿,隨即像星火燎原般擴散——年輕的工程師們互相擁抱,有人抹著眼淚笑,有人舉起寫滿引數的筆記本揮舞。

  就連各位領導的臉上也不由地露出瞭如釋重負的笑意。

  光刻工廠所承載的意義太過巨大了。

  不要看只有這幾位領匯出現在這裡,更多的領導都是在暗暗地關注著這裡的訊息。

  現在,這個測試資料一出,雖然還只是第一批,可是已經足夠讓人放心了。

  就算是後面的産品資料不盡如人意,那也只是工藝最佳化的問題,而不是光刻工廠的技術路線問題。

  劉總管快步走到梁松的面前,緊緊地握住梁松的手說道:“梁博士,你們創造了奇蹟啊!”

  “今天的成績代表著我們已經打破了西方光刻機的領先地位,我們重新開闢出了新的賽道,為半導體行業發展開啟了新的領域,意義重大啊!”

  面對劉總管的誇贊,梁松很快就從激動之中清醒過來,下意識地解釋道:“領導,我只不過是一個執行者而已,真正提出光刻工廠構思,並完成核心技術突破研發的人是我們老闆,他才是功勞最大的。”

  隨著梁松這句話說出口,立即就讓眾人把目光放到了王東來的身上。

  而這個時候,眾人這才注意到王東來的異樣。

  在所有人都在為這個測試資料而感到高興的時候,王東來卻皺著眉毛,任誰都能看得出來他有些不喜,一時間,倒是讓眾人生出了興趣,産生好奇。

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