EUV光源，即13.5奈米波長的極深紫外光，是實現“超精密電路雕刻”的核心，直接決定了晶片的最小線寬、整合度與效能上限。

  只需一次曝光，就能把掩膜版上的電路圖，複製到晶圓表層。

  而傳統的DUV光刻機，需透過“多重曝光”，才能形成晶片所需的精細線路。

  具體來說，就是要對同一區域的光刻膠進行2到4次光刻與顯影操作，最終效果才相當於 EUV光刻機一次曝光所能達到的水平。

  梁勁松從格羅方德、聯華電子手裡購買的NXT 1950i DUV光刻機，雖然也能生産14奈米、乃至10奈米的晶片，但必須利用多重曝光工藝。

  然而，多次曝光會導緻光刻步驟增加，生産週期變長、良品率驟減、成本迅速上升，至少要高個30%到50%。

  這也是為何阿斯麥只要不向華國的Fab工廠出售EUV光刻機，便能牢牢卡住整個半導體行業脖子的主要原因。

  即便掌握了其他關鍵技術，也會因製造成本居高不下，從而失去商業價值與市場競爭力。

  就拿同一款晶片産品來說，高通以20美幣的價格出售仍有毛利可賺，但國內晶片製造商若同樣以20美幣的價格售賣，反而要虧損三成。

  面對這樣的成本與盈利差距，採購方自然不願買單。

  陳延森提出的磁約束放電激發方式，則放棄了鐳射轟擊液態金屬錫、激發極深紫外光的方案，轉而採用在強磁場約束下，透過高功率脈沖放電，在金屬錫靶表面産生穩定、高亮度等離子體的技術路徑。

  優點顯而易見，固態靶材加高壓放電，機械結構更簡單，穩定性更高。

  這是一項差異化極大的技術，可以繞過大量現有的LPP專利壁壘牆。

  “辛苦了，繼續在磁約束放電激發技術的基礎上，深耕延伸專利，以防歐美的半導體公司使用微創新的手段，反過來限制我們。”

  陳延森在聽完林南的彙報後，當即叮囑道。

  高通為什麼栽了？

  還不是他在射頻、通訊解碼等技術上，設定了全新的專利壁壘，把高通的出口給堵住了。

  要不然，保羅·雅各布能心甘情願地與天工科技簽訂專利交叉授權協議？

  想都別想！

  自己走過的路，當然要堵死！

  他可不想有朝一日，突然冒出來一家公司，起訴星源科技侵權。

  “好的老闆，我知道構建專利生態壁壘的重要性。”林南立即應道。

  他是滬城光學精密機械研究所的高階工程師，在行業內小有名氣。

  之前，星源科技和華科協會下屬光電所聯手推進攻關計劃時，胡銳暉就向陳延森推薦了林南。

  陳延森要錢給錢，要器材給器材，完全是一副財大氣粗的樣子。

  林南在研究所蹉跎了十幾年，眼看民營公司的研究員都拿到了諾貝爾化學獎，他哪裡還坐得住？

  在收到陳延森的邀請後，二話不說，就加入了星源科技的光學研究實驗室，與光電所的院士們並肩作戰，試圖另闢蹊徑，尋找一種可商用的EUV光源激發方式。

  起初毫無進展，直到陳延森指了一條天馬行空的路線。

  用“電磁場”代替“鐳射”作為激發和約束等離子體的手段，在放電區域周圍設定一組超導磁體線圈，産生一個特殊的磁鏡場構型。

  先用脈沖電流激發等離子體，再用多層反射鏡來收集13.5奈米的波長，最後聚焦和輸出。

  林南原本不以為然，但在研究一段時間後，他發現老闆的方案並非是空想，而是具備極強的可實現性。

  事實證明，這條路是對的！

  “行，先這樣。”

  陳延森極為平淡地掛了電話。

  在他看來，光刻技術是個無比龐大的環節，除去光源部分，物鏡系統、雙工作臺、光刻膠等模組也是重中之重。

  搞定EUV光源的激發方式，不過是千里之行，才走一步而已。

  另一邊。

  林南暗自怎舌，表情有些失控，他其實很想再打回去告訴老闆：“憑藉這項技術，明年拿個國家最高科學技術獎，也不是沒有可能啊！”

  可他轉念一想，深藍科技還有三個諾貝爾化學獎的獲得者，老闆的反應平淡也很正常。

  由於‘磁約束放電等離子體光源’是星源科技和華科協會的共同研究成果，訊息在國內的科學界飛速傳開。

  胡銳暉在得知後，勐地站起身，根本不敢相信。

  “這才四個月不到，就特麼有成果了？開什麼玩笑？”

  胡銳暉在辦公室裡走來走去，竟破天荒地爆了粗口。

  同一時間，哈工大光學實驗室和龍州光機所也收到了訊息。

  第一反應，假的！

  可他們在反覆驗證後，又不得不相信，星源科技和燕京光電所，還真把EUV光源技術給搞了出來。

  並且，還成功繞過了阿斯麥、卡爾蔡司、山星、灣積電和Cymer構築的專利防禦牆。

  兩個小時後，李青松接到胡銳暉的電話。

  “先封鎖訊息，讓安國協會的工作人員立刻趕到滬城，所有參與了研發過程的人員，一律簽署保密條例。”

  李青松在明白這項技術的重要性後，臉色瞬間變得凝重起來，沖著一旁的秘書吩咐道。

  他在星源科技身上，看到了國産光刻機崛起的希望！

  “好的，李先生。”秘書不敢耽擱，抓起電話就開始聯絡安國協會，將需要簽署保密條例的人員名單、對接流程一一梳理清楚。

  李青松則站在辦公室的玻璃窗前，望著燕京灰濛濛的天空，不由地陷入了沉思。

  星源科技在EUV光源領域的技術突破，像一道驚雷，噼開了自研光刻機路上的迷霧，可隨之而來的，還有無數即將襲來的暗流。

  一旦訊息洩露，阿斯麥、卡爾蔡司那些國際巨頭絕不會坐視不理，要麼透過專利訴訟拖延進度，要麼聯合供應鏈施壓，甚至可能動用盤外力量干預。

  畢竟，半導體行業從來都不只是單純的技術競爭，背後牽扯著太多的利益博弈。

  星源科技的發展讓人出乎意料！

  與此同時。

  滬城星源科技的光學研究實驗室裡，林南正帶領團隊進行第三次穩定性測試。

  螢幕上跳動的資料流顯示，13.5奈米波長的極深紫外光輸出強度穩定在92%以上，能量轉換效率為7.1%，遠超阿斯麥所掌握的LPP光源。

    這個資料，已經達到了商用標準！

  但接下來，還有很多巨大的挑戰和不確定性。

  比如，脈沖放電和等離子體本身會産生巨大熱量，旋轉靶和液膜都需要極強的冷卻能力，目前的熱管理技術就不匹配。

  開闢一條新路，雖然可以獨享，但配套裝置和技術都得自己慢慢摸索。

  道阻且長！

  ……

  ……

  傍晚時分，陳延森在下班後，並沒有回三角洲別墅區，而是趕到機場，乘坐灣流 550飛往廬州。

  明天下午兩點，天工科技將在廬州會議中心召開新品釋出會，正式把天工 B100和天工 C100推向市場。

  他自然不能缺席。

  半個小時後，飛機降落在廬州新橋機場。

  接著換乘一輛邁巴赫，朝著包河區的一間別墅駛去。

  又過了三十分鐘，老黃才把車子緩緩停下。

  只見一棟三層高的別墅矗立在眼前，佔地面積200多平方米，地下一層，地上三層，建築面積超過了800平方米。

  自帶200多平方米的花園，與虛城的別墅有所不同，這間房子除了觀景水池外，還有一個露臺泳池。

  兩年前買的，陳總一次都沒住過。

  “老黃，明天下午一點來接我。”

  陳延森下了車，隨口說了一句。

  “好的老闆。”

  黃伯翔點頭應道，他的話越來越少，越來越像一名專業的司機。

  不等陳延森開口，便自覺地把行李箱搬下來，幫老闆推到客廳門口。

  做完這些，轉身就走。

  陳延森沒帶鑰匙，於是抬手敲了敲門。

  屋外的葉秋萍早就聽到了動靜，之所以沒來開門，則是在忙著換衣服。

  “咯吱”一聲！

  包著銅皮的紅木大門應聲開啟。

  “老闆，喜歡嗎？”

  葉師傅穿著一襲青紗長裙，昂著頭，嘴巴微張，咬著一縷髮絲，一臉嬌媚地問道。

  一條尾巴藏在身後，甩來甩去。

  “啪”！

  陳延森一巴掌甩了過去，在葉師傅的屁股上狠狠打了一下，隨即走進客廳，懶洋洋地丟下一句話道：“把我行李箱拿進來，再簡簡單單做個四菜一湯。”

  “噢。”葉秋萍捂著屁股，乖乖應了一聲。

  雖說捱了打，可心裡卻是甜絲絲的，恨不得陳延森再多打兩巴掌。

  因為萌潔、宋允澄和自己都在廬州，可陳延森偏偏選擇來她這裡，說明老闆對她，偶爾也會多幾分不一樣的偏疼。

  葉秋萍揉著被拍過的地方，嘴角的笑意藏都藏不住。

  她快步走到門口，彎腰提起陳延森的行李箱。

  陳延森坐在沙發上，分別給萌潔和宋允澄回了一條資訊。

  葉秋萍把行李箱放好，又趕忙拿起一雙男士拖鞋，噔噔噔地走到陳延森面前，幫他脫鞋、換鞋。

  陳延森見她的尾巴搖來搖去，忍不住地伸手去抓。

  葉師傅耳尖一紅，身體一軟，趴在陳總的膝蓋上，溫聲細語地說：“老闆，你抓著人家的尾巴，我可就沒力氣給你做飯了。”

  “那就先吃海鮮，再吃晚飯。”

  陳延森扯了扯尾巴，葉秋萍的臉蛋就更加紅潤了，面若粉桃，雙眸泛起了瑩瑩水光。

  ……

  ……

  次日，雷逸軍一早便趕到了機場，直奔廬州而去。

  周弘毅、丁磊、賈耀亭和吳鴻欣同樣如此。

  華為、中興、酷派和聯想等手機廠商，也紛紛派了代表前來。

  天工 A100的市場表現有目共睹，想來天工 B100和天工 C100的效能也不會太差。

  高通為什麼突然出手打壓天工科技？

  還不是因為陳延森動了一些人的蛋糕。

  自從星源科技成立後，就暴露了森聯資本在半導體行業的野心，既想掌控晶片設計環節，又想掌握晶片製造環節。

  不少人覺得，陳延森太貪心，上到晶片，下到餐廳，什麼錢都想賺，遲早翻車。

  但在雷逸軍等人的眼裡，陳延森確實有這個實力。

  哪怕是面對高通的打壓，陳延森也表現得遊刃有餘，提前用二手光刻機訂單鎖定了格羅方德和聯華電子28奈米制程的晶片産能，同時又用橙子科技的採購業務，一舉拉攏了聯發科和英偉達。

  高通？

  瞬間成了小丑！