巨大的新風管道唿唿作響，將絕對清潔的空氣送進廠房之內。

  一名身穿全身無塵服的研究員指著那臺跟沒有窗戶的鐵房子似的裝置，給同樣身穿無塵服的方豫做著講解。

  透過無塵服的透明面罩，能看到張博士的那張圓臉。

  “周微電子的ICP-RIE等離子蝕刻機上週剛剛到貨，現在正在裝配，Compact-300薄膜沉積系統大概還要一週左右。”

  張博士的頭圓臉也圓，但不是胖，就是圓，看上去年紀並不大，眼袋卻非常嚴重，明顯是長期沒睡好。

  “這邊主要是前道工藝的區域，要求的潔淨度非常高，蝕刻機、圓晶AOI和探針臺都在這個區域，潔淨度低於Class10。”

  張博士帶著二人，一邊走，一邊指著通道兩側的裝置介紹道。

  甯雨好奇的扭頭看了看，光刻機？蝕刻機？那是什麼？

  沒看到什麼機器啊，只看到一排排灰色鐵房子一樣的東西。

  “Orbotech自動光學檢測機基本已經除錯完畢了。”

  “這批貨算是撿了個便宜，Orbotech應該正在談被收購，全力做高營收，拉高估值，錢到位，什麼都敢賣。”

  張博士嘿了一聲，語氣中頗為不屑。

  “百分之六十的生産裝置現在都可以做到國産化替代，但關鍵裝置都沒辦法國産。”

  “不只是DUV和EUV光刻機，包括CMP化學機械拋光、晶圓封裝、MEMS封裝/感測器對準、MTF測量……全都只能高價買二手。”

  說著，穿過兩排裝置區，前方又出現一道帶有紅色隔離標識的門。

  張博士摘下掛在胸前的工牌對著感應器一刷，又在虹膜識別器前稍一俯身。

  “許可權已確認。”人工語音響起，門發出了“噗嗤”一聲，自動開啟。

  看到門內是一條長長的甬道，四壁和頂部全是各種噴口的孔洞，甯雨就忍不住有點緊張。

  剛剛不是噴過一次了嗎？還要噴啊？

  進入前道工藝車間前，張博士就帶著穿好無塵服的二人進行了一次風淋，當時風淋間內巨大的氣流聲甚至讓甯雨有種窒息的感覺。

  明明穿著無塵服，唿吸也不受影響，但感受到超強的氣流將無塵服吹的獵獵作響，還是讓甯雨感覺有些緊張。

  “DUV要求的潔淨度更高，所以必須進行二次風淋。”

  張博士稍稍解釋了一句，隨後鎖緊內門，四壁噴嘴立刻擺動著噴出高速離子風，唿嘯著沖刷三人的無塵服，帶走可能殘留的微塵。

  所不同的是，這次的氣流聲音更大，比剛剛進入前道工藝車間時更加勐烈，時間也更長，足足噴了半分多鐘。

  甯雨可能有點幽閉恐懼，下意識的伸手捏住了方豫的無塵服。

  方豫側頭看了她一眼，突然伸手在她後背安慰似的拍了拍。

  甯雨不由得身體一震，下意識的看向被無塵服包裹得嚴嚴實實的方豫。

  透過雙層面罩，甯雨似乎看到同樣被包裹得嚴嚴實實的方豫對自己笑了一下。

  甯雨身體一震，一股異樣的情緒從心底滋生出來。

  這種情緒非常特別，癢癢的，怪怪的，像是有一隻小貓在心中抓啊抓的，還時不時伸出爪尖，輕輕勾一下，又迅速縮回去。

  那隻小貓很調皮，偏偏不讓她抓到，只留下一陣一陣的酥麻和暖意，在心口、在喉嚨口、在耳尖蔓延開來。

  她感到自己的唿吸在雙層面罩變得輕微而又急促，像是怕驚走了什麼易碎的東西。

  她想抬手去按一按胸口，卻怕被他看出來；想移開視線，又像被那雙隔著面罩的眼睛黏住了，怎麼也挪不開。

  這還是她人生第一次有這樣的感覺。

  哪怕之前被迫體會柳菲菲和方豫相杵的感受時，都未曾有過。

  “嘟~~~”

  四周的噴嘴突然停止了噴淋，巨大的風噪瞬間停歇，風淋間內響起了嘟嘟聲，內側門頭上的指示燈也從紅色轉為了綠色。

  “嗤~”

  風淋間的內門自動開啟。

  甯雨的手“嗖”的從方豫的無塵服上收了回來，臉騰一下就紅了。

  他沒發現吧？沒發現吧？

  無塵服裹得這麼嚴實，什麼都看不到，應該沒發現。

  甯雨口中唿出的溼氣，在面罩上凝結出一層薄霧，但又迅速被無塵服面罩頂部的自動送風系統抽走了。

  “方總，兩位，這裡就是曝光間，也就是現在人常說的光刻間。”

  張博士推開門，柳菲菲不由自主的眯了眯眼睛。

  這裡的亮度比剛剛的前道工藝區低了不少，照明的顔色也從明亮的白光變成了昏暗的黃色光源。

  仔細看一下，好像四壁和天花也都是黃色的啞光漆面，像是用黃色隔絕了整個世界的色彩。

  光刻間內佔地足足四五十平米的金屬房子也同樣是黃色的，而四周的牆角和金屬房子的底座則是純黑色的啞光金屬闆。

  在黃色金屬房子的頂部，有一根塔狀LED燈柱亮著紅燈，同時塔柱上黃色的燈帶也在間歇式的閃爍著。

  “光刻膠對藍光敏感，為了避免意外曝光，這裡的照明必須採用黃鈉燈。”

  張博士解釋了一句，看著面前兩臺亮著紅燈的巨型裝置嘆了口氣。

  “這條1400F的DUV線，是從Intel搞到的二手裝置，製程理論上只能到40奈米，實際大概只能到60奈米。”

  “而且雙工件臺和KrF光源系統也有問題，邁國人簡直就是喪心病狂，兩條殘廢的産線居然還敢賣這麼貴！”

  “我們準備先自己研究一下能不能修好，修不好的話，可能需要換件，還得找特殊渠道讓阿斯麥的工程師私下來看看。”

  張博士義憤填膺，提到邁國人的時候，五官都皺到了一起，眉毛倒豎，咬牙切齒，顯然深惡痛絕。

  甯雨好奇之餘，也有點尷尬，慶幸還好自己進來時帶了口罩，後來又穿上了無塵服，沒讓張博士認出來。

  她國籍也是邁國。

  這人怎麼這麼恨邁國？

  甯雨有點奇怪。

  她知道大周國內很多人會對邁國幸災樂禍，但恨得這麼咬牙切齒跟恨小倭子似的，可太少見了。

  這人是幹什麼的？說的什麼我都沒聽懂……

  方豫聞言，讓張博士指了一下這兩臺DUV損壞的位置，看似好奇的摸了摸。

  張博士想說這兩臺裝置太精密，不能隨意觸碰，但剛張開嘴，才想到這特麼是老闆。

  東西都是人家買的，想摸就摸吧。

  好在方豫沒摸多久，就鬆開了手。

  “我覺著這東西不是壞的啊，看起來挺正常的，再檢測試試。”

  就算張博士穿著無塵服，透過面罩都能看到腦門上青筋直冒。

  你覺著？

  這玩意兒壞了就是壞了，沒壞就是沒壞，你覺著有個屁用？

  我還覺著柳菲菲應該對我一往情深呢，我覺著有用嗎？

  看不到故障燈在那亮著嗎？

  要不是看在你救了我的份上，我、我特麼跳起來打你膝蓋！

  “方總，DUV重啟一次，至少要十幾個小時，花費幾十萬的費用，我們可以確信……”

  張博士絞盡腦汁乾巴巴的勸說道。

  張博士說的也不完全是託詞，阿斯麥的DUV每次冷啟動都要完全置換氣體，含有氖、氬、氟的準分子鐳射光源氣體混合物很貴，至少要大幾千邁元。

  而且，DUV的鐳射腔壽命以脈沖數計數，每開關機一次，都會造成壽命的降低。

  最重要的是，光刻機這東西也有點玄學，有可能關機前只是雙工件臺和光源系統有問題，重新開機後，不知道哪裡又會蹦出新的問題。

  “無非就是一點稀有氣體的損失，問題不大。而且不需要冷啟動，只需要在 HMI做模組復位，跑受影響子系統的qualification，二三十分鐘就能結束，不會有什麼大損失。”

  方豫伸手敲了敲面前這臺DUV的黃色外殼。

  聽了方豫的話，張博士不由得目瞪口呆。

  你懂光刻機？

  既然懂，怎麼還說什麼“我覺得”？

  “這……這……可是……”

  張博士一腦子漿煳，吭哧半天，也不知道該說什麼好。

  “重新自檢，看看故障能不能排除，不能排除，我們再想辦法。”方豫抱著雙臂，語氣輕鬆，卻充滿著不可置疑的味道。

    “……那好吧。”張博士被迫妥協，叫來兩個技術員打下手。

  三人先在HMI終端上登入工程師許可權，螢幕上彈出一連串灰底白字的系統選單。

  張博士伸手點進維護介面的子系統控制組群，找到了亮著紅燈的工件臺控制與光源模組。

  “先做工件臺自檢吧。”

  一通操作後，張博士點了一下對話方塊中的確認鍵，緊接著，就聽到裝置內部傳來“咔、咔”幾聲電磁鎖切換的清脆聲響。

  雙工件臺下方的真空泵開始抽氣，伴隨著低沉的氣流聲，整個平臺緩緩降到維護位置。

  甯雨震撼的看著這臺大型裝置的動作，充滿了頂級機械工程的美感，感覺跟變形金剛似的。

  幾秒後，工件臺的干涉儀和溫控系統開始依次重新初始化，HMI上的進度條緩緩前進。

  高精度鐳射干涉儀的紅點在檯面上來回掃描，反饋曲線在螢幕右側實時抖動著趨於平穩。

  整個過程也就持續了三四分鐘，螢幕一閃，原本顯示故障的位置瞬間變成了“Stage OK”的字樣，警告狀態瞬間消失。

  消失了？

  張博士身體一震，不可思議的揉了揉眼睛。

  兩名研究員也是一臉的驚詫，這臺機器他們搗鼓了好久，雙工件臺仍舊只有一個能用，怎麼現在居然莫名其妙的恢復了？

  故障排除靠重啟？

  這不可能！

  拿到這臺機器後，子模組復位做了這麼多次，沒有一次能自檢透過的。

  怎麼恢復的？

  你特麼玩我呢吧？

  張博士深吸一口氣：“再看一下光源系統。”

  兩名研究員忙不疊的光源控制，開始執行光源系統的復位程式。

  遠處的鐳射發生器先是發出一聲低沉的嗡鳴，隨後切換到高頻的脈沖聲，像有人在密集地敲打金屬。

  緊接著，鐳射腔內發出氣體注入的嗤嗤聲，混合的特種氣體透過氣路調節閥依次匯入，螢幕上的感測器讀書開始快速的跳動起來。

  光束被導向光功率感測器與穩定度監測器，HMI上的曲線從最初的波動逐漸收斂成一條平滑的直線。

  十分鐘後，螢幕正中央彈出一行綠色的大字：

  Laser Source: PASS。

  PASS！？

  張博士還以為自己看錯了，不可思議的抬起手揉眼睛，卻發現自己戴著全封閉的面罩，根本揉不到。

  這是怎麼回事！？

  等等，剛才自己說了那麼半天故障問題，還說什麼需要換件之類的，不會讓老闆覺得自己是想坑他錢吧？

  張博士額角的冷汗一下子就冒出來了。

  “不錯，不錯。”方豫鼓了鼓掌，語帶笑意，“剛剛可能是光源輕微老化和地面沉降導緻工作臺配平的問題，能一次透過自檢，就算新機器也不容易做到，張博士果然名不虛傳。”

  “不是……這和我沒關係，我是說……”張博士在面罩裡齜牙咧嘴的不知道該說什麼好。

  “唉！要是什麼時候國産光刻機能問世就好了，省得在尼德蘭和邁國人面前受這個窩囊氣。”

  千言萬語，最終匯成了一聲嘆息。

  聽到張博士的感嘆，方豫意味深長的拍了拍他肩膀：“麵包會有的，DUV會有的，EUV也會有的。”

  張博士胸膛起伏不定，好一陣才平息，苦笑一聲：“太難了，光刻機只是其中一環而已，晶片産業上游六大原材料行業、前後道十二項關鍵裝置，核心技術幾乎全在別人手中。”

  方豫微微一笑。

  六大原材料和十二項關鍵裝置？

  你是說信越化學和SUMCO的圓晶、JSR的光刻膠、關東化學的試劑、高盧Air Liquide的電子特種氣體、JX倭礦金屬的靶材、卡博特微電子的CMP拋光材料……嗎？

  我特麼都已經實現了AGI，正在向ASI邁進，還用擔心這些技術？

  能透過網際網路搞到手的，早就搞到手了。

  而那些不上網的關鍵製備工藝和配方，都是自己親自去倭國和邁國拍的。

  比如光刻膠最大的供應商JSR，它的核心光刻膠配方與製備路線極少申請專利。

  真正核心內容被封存在內部資料庫中，並且內部採用極嚴格的許可權分級、配方拆分、核心步驟遮蔽制度，每個員工只掌握自己工序的那一點點資訊。

  關鍵的調製技藝，更是隻有兩個老師傅掌握。

  最終光刻膠出廠前的調製工作，就是在一個可以完全封閉且沒有任何監控裝置的小黑屋內，由這兩名基本算是簽了賣身契的老師傅完成的。

  不只是JSR，光刻膠的另一巨頭作坊TOK保密工作更加嚴格。

  這些技術，由於根本不在網際網路上，是柚子無法拿到的。

  但這自然是難不倒方豫的。

  兩天時間，他就給這些公司的所有小黑屋都裝上了“鏡花水月”的錄影端，二十四小時透過位於柚子科技地下五百米的5號機房的“鏡花水月”播放端進行直播。

  再由這裡十幾臺3D光追攝像機，把水鏡術的影像轉為影片資料。

  相比2D的平面影像，鏡花水月的全息投影幾乎就是把對方的保密車間完整的搬到了這間地下五百米的機房。

  不只是JSR，包括TOK、信越、杜邦……每一家配方、每一筆反應曲線，全都被自動歸檔在柚子科技伺服器中。

  方豫當然沒傻到把這些技術免費公開給國內廠商，那純粹是給自己找麻煩，受累不討好。

  他要的，是學習。

  讓橘子大模型將那些封閉的技術徹底學懂、拆透、重構，在演算法架構中演化出更高效、更適配的技術路徑。

  俗稱洗技術。

  把技術洗白後，再結合每家客戶的製程結構和資源約束，向柚子科技的核心企業使用者提供定製化諮詢服務。

  視客戶規模和所屬行業不同，收費也不同。

  有的客戶，光是年度諮詢服務費就超過數億邁元

  其實這也不是方豫的首創，他走的基本就是瀛積電的路子。

  瀛積電給某些裝置商提供工藝介面的定製諮詢，單次收費就不比柚子科技的年費低。

  當然，不是所有客戶都能成為柚子科技的核心企業使用者，這個客戶名單是經過篩選的，並且不會對外公佈。

  篩選的標準就連柚子科技內部員工都不知道，完全是AI根據大資料做出的自我判定。

  這個體系已經運轉了三四個月，時至今日，柚子科技核心客戶中的晶片企業，基本都得到了AI的賦能。

  至少五家公司上馬了不同的EUV相關專案。

  類似特氣、靶材、CMP這類上流産業更是如雨後春筍般爆發。

  以大周這群卷逼的速度來說，多則兩年，少則七八個月，部分晶片上游行業就能徹底進入戰國時代。

  而這些上游産業建立後，EUV或更加先進的光刻機也就是水到渠成的事情了。

  産業的進步與爆發，是存在奇點的，在這個點之前，可能長達數年乃至數十年都是緩慢的發展甚至不發展，只是在積累能量。

  可一旦奇點出現，相關産業就會如同宇宙大爆發一樣，積累的能量産生質變，轟然炸裂，散作漫天星辰。

  柚子科技，就是這個奇點。

——

  “這個張博士太有意思了，他的頭好圓，眼睛也這麼圓，兩隻眼睛還能同時向兩邊轉，哈哈哈哈哈哈。”

  甯雨坐在車上，露著牙花子笑個不停。

  剛剛從潔淨車間出來後，脫下一次性的無塵服時，那個張博士看到她，眼珠子都快瞪出來了。

  雖然甯雨對這種目光早就已經習以為常，但今天不知道怎麼，特別的受用。

  方豫看了一眼甯雨，感覺牙花子看久了好像也不怎麼突兀了。

  甯雨是柳菲菲的純真態，笑的時候絲毫不掩飾自己的缺陷，記得她剛出道的時候，還被金大師說她太愛美了，顧及形象不敢笑，應該當時兩個意識還沒有完全分開。

  “對了，他為什麼那麼恨邁國人？”

  甯雨捋了捋耳邊的頭髮，側臉看著開車的方豫。

  方豫隨口道：“要是就因為你開發出了比邁國公司更強的晶片技術，在去邁國開學術會議時被無緣無故以偷技術的名義關押刑訊了一年多，你也恨。”

  甯雨聞言不由得一愣。

  “你剛才不是說他的眼珠可以向兩邊分嗎？知道怎麼弄成這樣的嗎？”

  “讓邁國人打的。”